https://n.news.naver.com/mnews/article/015/0005133780 https://n.news.naver.com/mnews/article/015/0005133780반도체 나노 전쟁…핵심 장비로 떠오른 '원자현미경' -전자현미경이 못보는 단위 측정 -후공정 등 활용 범위 급속 확대 -시장 규모 2030년 10억弗로 성장 -한국 파크시스템스가 세계 1위 -산업용 점유율 80% '압도적' -1년 새 매출 2배 영업익 25배로
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